益处
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
- 诊断端口用于快速维修和维护
- 两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
- 合规性与标准： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
- 用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
- 化学和腐蚀性高温过程
- 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
规格
| 类型 | 1000 ... 500 Torr / mbar | 200 ... 1 Torr / mbar | 0.5 ... 0.1 Torr / mbar | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.4 | ||||||||
| 温度效应 | ||||||||||||
| 零点 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 | 0.005 | ||||||||
| 满量程 | % of reading / °C | 0.02 | 0.02 | 0.02 | ||||||||
| 压力，最大 | kPa (absolute) | 400 | 260 | 130 | ||||||||
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | ||||||||
| 最低读数 | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | ||||||||
| 建议的最低读数 | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | ||||||||
| 建议的最低控制压力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | ||||||||
| 温度 | ||||||||||||
| 运行（周围环境）（5） | °C | +10 … +50 | ||||||||||
| 在法兰处烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ||||||||
| 贮存 | °C | –20 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | ||||||||
| 电源电压 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |||||||||
| 功耗 | ||||||||||||
| 加热时 | W | ≤20 | ≤15 | ≤15 | ||||||||
| 运行温度 | W | ≤14 | ≤10 | ≤10 | ||||||||
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | ||||||||
| 反应时间 (2) | ms | 30 | 30 | 130 / 30 (3) | ||||||||
| 保护等级 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |||||||||
| 标准 | ||||||||||||
| CE 合规 | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |||||||||
| ETL 认证 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 | |||||||||
| SEMI 合规 (5) | SEMI S2 | |||||||||||
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